洁净度测试-尘埃粒子检测说明

一、测试说明

洁净度测试是无尘室性能测试的核心，在洁净度测试之前，应验证洁净室的各方面设施都是完备的，且运行正常，符合设计的技术性能要求。包含：

1.洁净室风速、风量测试已完毕

2.洁净室高效过滤器检漏测试已完毕

3.洁净室静压差测试已完毕

4.洁净室隔断结构气密性测试已完毕

二、测试仪器

大流量尘埃粒子计数器

附有仪器校准证书，且在校准时间有效期内。

三、测试程序：

1.确定采样点的位置及数量，采样点应均匀分布于洁净室(区)的面积内，并应位于工作面高度。

2.确定单次最小采样量与取样时间。每个采样点的采样量应至少为2L，采样时间应至少为1min，当洁净室(区)仅有1个采样点时，在该点应至少采样3次。METone3445尘埃粒子计数器采样流量为100L/min，因此单次取样时间1分钟时，能满足测试要求。

3.粒子计数器的采样探头不得直接置于送风口整下方。当测单向流设施的洁净度时，采样头应对准气流;当测非单向流时，采样探头一律朝上。

4.室内测试人员应穿洁净服，不得超过3人，测试人员应位于测试点的下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时，动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。

5.当采样点只有1个或多于9个时，不计算95%置信上限;当采样点为1个以上10个以下时，除应计算各采样点的平均值和总平均值外，还应计算计算95%置信上限。

6.每个采样点测得粒子浓度的平均值以及洁净室总平均值95置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时，可认为该洁净室(区)已达到规定的空气洁净度等级。

四、收费方式：

根据房间温湿度测试点位的数量。